LP160 系列 LoadPort 裝載單元是為半導體自動化設備晶圓裝載設計的專用設備。產品已通過 SEMI S2 認證。分為三個產品系列，可應對 Semi 標準的 Foup、Fosb、Smif 料盒和用于先進封裝潔凈型 FrameFoup。 ? 對 FOUP 和自動門 FOSB 的標準支持 ? 獨特的開門機構和精確的運動控制，可實現(xiàn)高清潔性能