LP160 系列 LoadPort 裝載單元是為半導(dǎo)體自動化設(shè)備晶圓裝載設(shè)計的專用設(shè)備。產(chǎn)品已通過 SEMI S2 認(rèn)證。分為三個產(chǎn)品系列，可應(yīng)對 Semi 標(biāo)準(zhǔn)的 Foup、Fosb、Smif 料盒和用于先進(jìn)封裝潔凈型 FrameFoup。 ? 對 FOUP 和自動門 FOSB 的標(biāo)準(zhǔn)支持 ? 獨(dú)特的開門機(jī)構(gòu)和精確的運(yùn)動控制，可實現(xiàn)高清潔性能